顯示器旋轉(管型)濺鍍靶材

旋轉靶有別於平面靶，使用率可達70~80%，成膜速度較快，另外還有回鍍少、異常放電少與安定性高等優點。本公司可量產供應顯示器、觸控面板及節能玻璃產業所需的相關旋轉靶材，包含高純度鋁靶、鉬靶、銅靶、鈦靶、銀靶、鎳合金靶、矽靶與氧化鈮靶等；其中鋁、鉬靶已通過知名美商8.5代濺鍍產線驗證。另一方面隨著面板廠靶材尺寸放大，本公司亦同步提升旋轉靶接合技術因應客戶需求，為國內第一家TFT-LCD產業用大尺寸旋轉靶材製造廠。

產品用途

• 驅動電極材料：Al(5N)靶、Mo靶、Cu靶、Ti靶。
• 擴散阻絕材料： Mo靶。
• Low-E節能玻璃：Ag靶、Ni alloy靶。
• 抗反射層材料：Nb2Ox靶、Si靶。

產品優勢

• 掌握高純度原料與集團加工製程，全程In-House管控，品質穩定性高。
• 全世代尺寸量產供應(G5.5~G10.5)，市占率高供貨穩定。
• 特殊金屬化層接合介面，接合強度高。